蚀刻液调配及常见故障处理方法

时间:2014-7-19 作者:dlz0099 分享到:

蚀刻液调配及常见故阵处理方法

1.溶液配制及调整方法

(1)丝状纹理蚀刻剂的配制

①确定配制体积并选择合适的工作缸。

②工作缸经清洗后,先加人所需体积3/4的清水,加人计算量的NHa HF2 , 注意边添加边搅拌溶液。待NH, HF:溶解完全后,再加人(NHa )2SO;并搅拌溶 解。最后补加清水到规定体积。用pH精密试纸测定溶液pH值,如PH值不在工 艺范围内应用NH3 ” H20或H2 SO;进行调节。

(2)丝状纹理二次碱蚀剂的配制

①确定配制体积并选择合适的工作缸。

②工作缸经清洗后,先加人所须体积2/3的清水,加人计算量的NaOH,边 添加边搅拌,待NaOH溶解完全后,补加清水至规定体积.

(3)丝状纹理蚀刻液调整方法新配制的溶液使用一段时间后,溶液的pH值 及有效成分都会发生变化,这时要对溶液进行必要调整.经蚀刻后的工件丝纹不明 显,添加NHa HF:即可,添加量以30- 60g/L为宜,每次调整前应过滤溶液.在 使用过程中,每天至少要测两次pH值(用精密试纸)。如果丝纹面明显变粗糙应 废弃旧液重新配制新液.丝状纹理二次碱蚀液除非新配溶液,一般不需要进行添加 剂的补充,控制NaOH浓度即可。

2.常见故障处理方法 丝纹蚀刻常见问题处理方法见表5-23.

5-235-24

版权所有: 转载请注明出处

成功案例