酸一碱二步法纹理蚀刻纹理太光的故障原因及处理方法

酸一碱二步法纹理蚀刻纹理太光的故障原因及处理方法

故障原因：

①酸性抛光液中H3 p0。浓度太高
②酸性抛光液中HNO:浓度太高
③酸性抛光温度太高，抛光时间太长
④碱性抛光沮度太高，抛光时间太长

处理方法 ：

①添加H2so‘
②取出部分旧液，添加H,PO‘和HZ S04，也可 用铝条和HNO:反应降低其浓度
③通过实脸确定最佳酸性抛光时间及抛光温度
④通过实验确定最佳孩性抛光时间及抛光温度